装置型式 | LPM-15 (卓上型) |
LPM-18 (卓上型) |
定盤サイズ | φ380㎜ | φ457㎜ |
対応ワークサイズ | ~φ140㎜ | ~φ180㎜ |
重量 | 85㎏ | 95㎏ |
サイズ | W710㎜ D650㎜ H520㎜ |
W820㎜ D730㎜ H620㎜ |
操作 | マニュアル | |
対応アプリケーション | 化合物、セラミクス、金属、ガラス |
装置型式 | LPM-15 (据置型) |
LPM-18 (据置型) |
定盤サイズ | φ380㎜ | φ457㎜ |
対応ワークサイズ | ~φ140㎜ | ~φ180㎜ |
重量 | 320㎏ | 400㎏ |
サイズ | W735㎜ D765㎜ H1780㎜ |
W780㎜ D910㎜ H1780㎜ |
操作 | マニュアル | |
対応アプリケーション | 化合物、セラミクス、金属、ガラス |
装置型式 | LPM-24 (オープンフェイス) |
LPM-36 (オープンフェイス) |
LPM-48 (オープンフェイス) |
定盤サイズ | φ610㎜ | φφ914㎜ | φ1219㎜ |
対応ワークサイズ | ~φ248㎜ | ~φ368㎜ | ~φ505㎜ |
重量 | 1300㎏ | 1500㎏ | 3500㎏ |
サイズ | W1415㎜ D1050㎜ H1550㎜ |
W1730㎜ D1300㎜ H1600㎜ |
W2040㎜ D1720㎜ H1600㎜ |
操作 | マニュアル | ||
対応アプリケーション | 化合物、セラミクス、金属、ガラス |
装置型式 | LPM-24 (加圧機構) |
LPM-36 (加圧機構) |
LPM-48 (加圧機構) |
定盤サイズ | φ610㎜ | φφ914㎜ | φ1219㎜ |
対応ワークサイズ | ~φ248㎜ | ~φ368㎜ | ~φ505㎜ |
重量 | 1750㎏ | 2100㎏ | 4250㎏ |
サイズ | W1415㎜ D1050㎜ H1800㎜ |
W1730㎜ D1300㎜ H1955㎜ |
W2040㎜ D1720㎜ H2240㎜ |
操作 | マニュアル | ||
対応アプリケーション | 化合物、セラミクス、金属、ガラス |
装置名称 | ウェハ貼付装置 | |
ウェハサイズ | 3~6inch | |
支持板 | ~φ190㎜ | |
重量 | 280㎏ | |
サイズ | W830㎜ D800㎜ H1582㎜ |
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設定温度範囲 | 室温~140℃ | |
圧力設定範囲 | 0.05~0.3Mpa | |
入力電源 | AC200V 1PH 50/60Hz | |
消費電力 | 35A | |
供給気体圧力 | 0.4~0.5Mpa 700L/min(ANR) ※クリーンドライエアー |
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操作 | マニュアル | |
対応アプリケーション | 化合物、セラミクス、金属、ガラス |