ダイヤモンド研磨剤のケメットジャパン|難削材も精密研磨が可能

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精密研磨装置〈ケメット〉

世界中から信頼される技術力 進化し続けるKemetの研磨装置

ダイヤモンド精密研磨のトップブランドとして長きにわたり蓄積されたノウハウと確かな技術を活かし進化し続けるKemetの精密研磨装置は、世界中の皆さまにご利用いただいています。用途に合わせた様々なタイプの研磨装置をご用意。シリンダータイプから片面研磨、両面研磨、サイズは卓上タイプから大型の物まで取り揃えております。各種オプション、カスタマイズはお問い合わせください。
海外生産+国内メンテナンス体制で「ローコストで安心」を実現
ケメット・ジャパンの精密研磨装置は、高度な技術を持つ海外拠点でOEM製造を行い、高性能・ローコストを実現しています。一般的に海外生産で心配されるアフターサービスも、国内の当社グループ会社「システム精工株式会社」で製品のメンテナンス体制を整えていますので、維持・管理も安心です。
精密研磨装置
卓上型研磨装置
装置型式 LPM-15
(卓上型)
LPM-18
(卓上型)
定盤サイズ φ380㎜ φ457㎜
対応ワークサイズ ~φ140㎜ ~φ180㎜
重量 85㎏ 95㎏
サイズ W710㎜
D650㎜
H520㎜
W820㎜
D730㎜
H620㎜
操作 マニュアル
対応アプリケーション 化合物、セラミクス、金属、ガラス

据置型小型研磨機
LMP15-18

装置型式 LPM-15
(据置型)
LPM-18
(据置型)
定盤サイズ φ380㎜ φ457㎜
対応ワークサイズ ~φ140㎜ ~φ180㎜
重量 320㎏ 400㎏
サイズ W735㎜
D765㎜
H1780㎜
W780㎜
D910㎜
H1780㎜
操作 マニュアル
対応アプリケーション 化合物、セラミクス、金属、ガラス

量産向据置型研磨機
LMP24-48

装置型式 LPM-24
(オープンフェイス)
LPM-36
(オープンフェイス)
LPM-48
(オープンフェイス)
定盤サイズ φ610㎜ φφ914㎜ φ1219㎜
対応ワークサイズ ~φ248㎜ ~φ368㎜ ~φ505㎜
重量 1300㎏ 1500㎏ 3500㎏
サイズ W1415㎜
D1050㎜
H1550㎜
W1730㎜
D1300㎜
H1600㎜
W2040㎜
D1720㎜
H1600㎜
操作 マニュアル
対応アプリケーション 化合物、セラミクス、金属、ガラス

加圧機構付据置型研磨機
LMP24-48

装置型式 LPM-24
(加圧機構)
LPM-36
(加圧機構)
LPM-48
(加圧機構)
定盤サイズ φ610㎜ φφ914㎜ φ1219㎜
対応ワークサイズ ~φ248㎜ ~φ368㎜ ~φ505㎜
重量 1750㎏ 2100㎏ 4250㎏
サイズ W1415㎜
D1050㎜
H1800㎜
W1730㎜
D1300㎜
H1955㎜
W2040㎜
D1720㎜
H2240㎜
操作 マニュアル
対応アプリケーション 化合物、セラミクス、金属、ガラス

ウェハ貼付装置
wefer

装置名称 ウェハ貼付装置
ウェハサイズ 3~6inch
支持板 ~φ190㎜
重量 280㎏
サイズ W830㎜
D800㎜
H1582㎜
設定温度範囲 室温~140℃
圧力設定範囲 0.05~0.3Mpa
入力電源 AC200V 1PH 50/60Hz
消費電力 35A
供給気体圧力 0.4~0.5Mpa 700L/min(ANR)
※クリーンドライエアー
操作 マニュアル
対応アプリケーション 化合物、セラミクス、金属、ガラス
チャンバー内加圧イメージ

研磨関連装置カタログ

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