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CMP slurry
CMPスラリー

お客様のニーズに応じて幅広くカスタマイズ

ケメットジャパンは創業より培ってきた経験に基づいたスラリー開発・製造を行っております。お客様のニーズに応じて幅広くカスタマイズが出来るよう日々開発に取り組んでおります。
  • 【種類】Cu配線膜用CMPスラリー
  • Al配線膜用CMPスラリー
  • 化合物用CMPスラリー
  • 貴金属用CMPスラリー
  • 樹脂用CMPスラリー

CMPスラリー

スラリー種類 特  性 研磨対象物
アルミナ 洗浄性が良く、速い研磨レートが得られます。 樹脂、セラミックス
シリカ ダメージフリーの高い面粗度が得られます。 酸化膜、金属膜 樹脂、ガラス
詳細仕様についてはお問い合わせください。
製品詳細


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