ダイヤモンド研磨剤のケメットジャパン｜難削材も精密研磨が可能
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お客様のニーズに応じて幅広くカスタマイズ
ケメットジャパンは創業より培ってきた経験に基づいたスラリー開発・製造を行っております。お客様のニーズに応じて幅広くカスタマイズが出来るよう日々開発に取り組んでおります。
【種類】Cu配線膜用CMPスラリー
Al配線膜用CMPスラリー
化合物用CMPスラリー
貴金属用CMPスラリー
樹脂用CMPスラリー
スラリー種類
特 性
研磨対象物
アルミナ
洗浄性が良く、速い研磨レートが得られます。
樹脂、セラミックス
シリカ
ダメージフリーの高い面粗度が得られます。
酸化膜、金属膜 樹脂、ガラス
詳細仕様についてはお問い合わせください。
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